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        高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)

        2019-12-31 20:40:05 瀏覽次數(shù):
        1、對于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口。

         

        2、管路設(shè)計(jì)要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高。通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/s,可燃?xì)怏w小于10ml/s,獨(dú)行/腐蝕性氣體小于8ml/s,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4~3/8。

         

        3、根據(jù)用氣設(shè)備的分布,高純氣體的官網(wǎng)不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

         

        4、管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管。

         

        5、對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

         

        6、為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器,如衡量水含量或氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規(guī)定時間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

         

        7、在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中,要求供應(yīng)10-9級的高純氣體,為了確保末端勇氣工藝設(shè)備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。

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